[实用新型]激光刻蚀装置和激光加工系统有效
申请号: | 201921348575.7 | 申请日: | 2019-08-16 |
公开(公告)号: | CN211804404U | 公开(公告)日: | 2020-10-30 |
发明(设计)人: | 岳国汉 | 申请(专利权)人: | 深圳市牧激科技有限公司 |
主分类号: | B23K26/362 | 分类号: | B23K26/362;B23K26/064 |
代理公司: | 深圳市恒程创新知识产权代理有限公司 44542 | 代理人: | 张小容 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙岗区坂*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种激光刻蚀装置和激光加工系统,其中,激光刻蚀装置包括聚焦场镜、反射镜组、若干振镜以及若干激光发生器;所述反射镜组设于所述聚焦场镜上方;若干所述振镜围设于所述反射镜组四周;每一所述激光发生器设于一所述振镜的背离所述反射镜组的一侧,每一所述激光发生器的出射光经过一所述振镜、并经过所述反射镜组和所述聚焦场镜而射出。本实用新型的技术方案提供了一种结构较为简化的激光刻蚀装置。 | ||
搜索关键词: | 激光 刻蚀 装置 加工 系统 | ||
【主权项】:
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