[实用新型]激光刻蚀装置和激光加工系统有效

专利信息
申请号: 201921348575.7 申请日: 2019-08-16
公开(公告)号: CN211804404U 公开(公告)日: 2020-10-30
发明(设计)人: 岳国汉 申请(专利权)人: 深圳市牧激科技有限公司
主分类号: B23K26/362 分类号: B23K26/362;B23K26/064
代理公司: 深圳市恒程创新知识产权代理有限公司 44542 代理人: 张小容
地址: 518000 广东省深圳市龙岗区坂*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型提供了一种激光刻蚀装置和激光加工系统,其中,激光刻蚀装置包括聚焦场镜、反射镜组、若干振镜以及若干激光发生器;所述反射镜组设于所述聚焦场镜上方;若干所述振镜围设于所述反射镜组四周;每一所述激光发生器设于一所述振镜的背离所述反射镜组的一侧,每一所述激光发生器的出射光经过一所述振镜、并经过所述反射镜组和所述聚焦场镜而射出。本实用新型的技术方案提供了一种结构较为简化的激光刻蚀装置。
搜索关键词: 激光 刻蚀 装置 加工 系统
【主权项】:
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