[实用新型]一种旋转靶绑定设备有效

专利信息
申请号: 201921362121.5 申请日: 2019-08-21
公开(公告)号: CN210481506U 公开(公告)日: 2020-05-08
发明(设计)人: 陈明恒 申请(专利权)人: 东莞市欧莱溅射靶材有限公司
主分类号: C23C14/35 分类号: C23C14/35;B22D19/04
代理公司: 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 代理人: 李少欢
地址: 523000 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开了一种旋转靶绑定设备,包括基座,基座安装有振动装置,基座的安装有工装夹具,工装夹具用于固定旋转靶的尾盖和端头,工装夹具包括支架、底座、延长端和固定护套,基座的侧方设置有支架,旋转靶的尾盖安装于底座,延长端的一端连接于旋转靶的端头,固定护套的一侧套装于延长端,固定护套的另一侧固定于支架,基座插设有内加热装置,内加热装置位于旋转靶的内侧,旋转靶的外侧设置有外加热装置,外加热装置设置有多个外加热部,外加热部的一端固定于支架,外加热部的另一端与旋转靶的外侧面间隙配合,绑定设备包括水冷环装置。本实用新型的绑定设备,可以一次整体绑定长旋转靶,无需分节处理,加快冷却时间,提高生产效率。
搜索关键词: 一种 旋转 绑定 设备
【主权项】:
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