[实用新型]一种旋转靶绑定设备有效
申请号: | 201921362121.5 | 申请日: | 2019-08-21 |
公开(公告)号: | CN210481506U | 公开(公告)日: | 2020-05-08 |
发明(设计)人: | 陈明恒 | 申请(专利权)人: | 东莞市欧莱溅射靶材有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;B22D19/04 |
代理公司: | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人: | 李少欢 |
地址: | 523000 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种旋转靶绑定设备,包括基座,基座安装有振动装置,基座的安装有工装夹具,工装夹具用于固定旋转靶的尾盖和端头,工装夹具包括支架、底座、延长端和固定护套,基座的侧方设置有支架,旋转靶的尾盖安装于底座,延长端的一端连接于旋转靶的端头,固定护套的一侧套装于延长端,固定护套的另一侧固定于支架,基座插设有内加热装置,内加热装置位于旋转靶的内侧,旋转靶的外侧设置有外加热装置,外加热装置设置有多个外加热部,外加热部的一端固定于支架,外加热部的另一端与旋转靶的外侧面间隙配合,绑定设备包括水冷环装置。本实用新型的绑定设备,可以一次整体绑定长旋转靶,无需分节处理,加快冷却时间,提高生产效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 旋转 绑定 设备 | ||
【主权项】:
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