[实用新型]一种用于旋转靶绑定的水冷环装置有效
| 申请号： | 201921362149.9 | 申请日： | 2019-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN210796610U | 公开（公告）日： | 2020-06-19 |
| 发明（设计）人： | 陈明恒 | 申请（专利权）人： | 东莞市欧莱溅射靶材有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;F25D17/02 |
| 代理公司： | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人： | 李少欢 |
| 地址： | 523000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型一种用于旋转靶绑定的水冷环装置，包括水循环装置和水冷环，水冷环包括环体，环体内设置有中空的储水腔，储水腔贯穿于整个环体的内侧，环体的底面设置有多个喷水孔，喷水孔连接于储水腔，环体的侧面设置有进水部，进水部为一中空管体，进水部的一端连接于储水腔，进水部的另一端连接水循环装置。本实用新型的水冷环装置能对旋转靶的靶材管进行均匀降温，减短生产时间，提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 旋转 绑定 水冷 装置 | ||
【主权项】：
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