[实用新型]一种用于砷化镓生产的热场装置有效
申请号: | 201921364332.2 | 申请日: | 2019-08-21 |
公开(公告)号: | CN211036183U | 公开(公告)日: | 2020-07-17 |
发明(设计)人: | 兰少东 | 申请(专利权)人: | 江苏中科晶元信息材料有限公司 |
主分类号: | C30B29/42 | 分类号: | C30B29/42;C30B35/00 |
代理公司: | 苏州市港澄专利代理事务所(普通合伙) 32304 | 代理人: | 汤婷 |
地址: | 215600 江苏省苏州市张家港市塘桥镇(江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了一种用于砷化镓生产的热场装置,包括炉体、保温筒和石墨加热器,所述炉体内腔设置有保温筒,保温筒内壁设置有石墨加热器,石墨加热器内壁设置有坩埚,坩埚底部设置有坩埚托架,坩埚托架底部设置有坩埚托杆,所述保温筒顶端设置有导流筒,导流筒出口处位于坩埚内腔,所述保温筒底部设置有保温板,使用时,通过启动电机,使得收线轮转动,从而将绳索进行收紧,从而将保温筒升起,从而避免了动用人工将保温筒抬起,进而节省了大量人力物力,且有效的避免了对保温筒造成的损伤,提高了保温筒的使用寿命,通过设置的防漏板及密封圈,有效的避免了高温硅液泄漏接触热场其余组件。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 砷化镓 生产 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏中科晶元信息材料有限公司,未经江苏中科晶元信息材料有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201921364332.2/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种居民建筑的新型保温墙体
- 下一篇:扫雪机