[实用新型]晶圆夹具的导电座有效

专利信息
申请号: 201921367576.6 申请日: 2019-08-22
公开(公告)号: CN211570817U 公开(公告)日: 2020-09-25
发明(设计)人: 邱晓明 申请(专利权)人: 邱晓明
主分类号: C25D17/06 分类号: C25D17/06;C25D17/00;C25D7/12;H01L21/687;H01R13/02
代理公司: 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 代理人: 戴广志
地址: 中国台湾苗栗县*** 国省代码: 台湾;71
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 实用新型为一种晶圆夹具的导电座,包含:主体,设置于所述夹具本体上;多个导电头设于所述主体,所述导电头具有相对的头端部及尾端部,所述头端部供以与所述输电架接触以电性连接,所述尾端部供以连接多个电线,所述导电座另具有底板及多个弹簧,而所述主体上贯设多个贯孔,各所述导电头分别设置于各所述贯孔内且分别具有朝向所述夹具本体的靠抵面,各所述导电头上分别具有环状的凸肋,所述凸肋供以靠抵于所述靠抵面上,所述底板设于连通各所述贯孔的底槽,各所述弹簧分别设于各所述贯孔内,且每一个所述弹簧的其中一端靠抵于所述凸肋,另一端则靠抵于所述底板,由此解决现有的晶圆夹具电线外露,而在反复移动的过程中容易损坏的问题。
搜索关键词: 夹具 导电
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于邱晓明,未经邱晓明许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201921367576.6/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top