[实用新型]晶圆夹具的导电座有效
| 申请号： | 201921367576.6 | 申请日： | 2019-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN211570817U | 公开（公告）日： | 2020-09-25 |
| 发明（设计）人： | 邱晓明 | 申请（专利权）人： | 邱晓明 |
| 主分类号： | C25D17/06 | 分类号： | C25D17/06;C25D17/00;C25D7/12;H01L21/687;H01R13/02 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 戴广志 |
| 地址： | 中国台湾苗栗县*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型为一种晶圆夹具的导电座，包含：主体，设置于所述夹具本体上；多个导电头设于所述主体，所述导电头具有相对的头端部及尾端部，所述头端部供以与所述输电架接触以电性连接，所述尾端部供以连接多个电线，所述导电座另具有底板及多个弹簧，而所述主体上贯设多个贯孔，各所述导电头分别设置于各所述贯孔内且分别具有朝向所述夹具本体的靠抵面，各所述导电头上分别具有环状的凸肋，所述凸肋供以靠抵于所述靠抵面上，所述底板设于连通各所述贯孔的底槽，各所述弹簧分别设于各所述贯孔内，且每一个所述弹簧的其中一端靠抵于所述凸肋，另一端则靠抵于所述底板，由此解决现有的晶圆夹具电线外露，而在反复移动的过程中容易损坏的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 夹具 导电 | ||
【主权项】：
暂无信息
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