[实用新型]一种链式硅片清洗槽及硅片加工装置有效
| 申请号： | 201921382922.8 | 申请日： | 2019-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN210523246U | 公开（公告）日： | 2020-05-15 |
| 发明（设计）人： | 易书令;马晓林;潘岳林;姜大俊;潘励刚;郑旭然 | 申请（专利权）人： | 盐城阿特斯阳光能源科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/10 | 分类号： | B08B3/10;B08B3/08;B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 224000 江苏省盐*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种链式硅片清洗槽及硅片加工装置，该链式硅片清洗槽包括主水槽、运输滚轮、第一赶液轮和喷淋机构。运输滚轮位于主水槽上方，运输滚轮被配置为驱动硅片运动，第一赶液轮设在主水槽沿硅片运输方向的末端上方，第一赶液轮被配置为将硅片上的液体赶入主水槽内，喷淋机构被配置为朝向硅片喷射清洗液。该链式硅片清洗槽，由于第一赶液轮可将附着在硅片上的液体赶入主水槽内，降低了硅片被清洗完毕时其上附着的清洗液含量，从而降低了对后续工艺槽的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 链式 硅片 清洗 加工 装置 | ||
【主权项】：
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