[实用新型]长运动行程推拉舟机构有效
| 申请号： | 201921385312.3 | 申请日： | 2019-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN210379000U | 公开（公告）日： | 2020-04-21 |
| 发明（设计）人： | 宋德鹏;姜良斌 | 申请（专利权）人： | 济南力冠电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 山东众成清泰律师事务所 37257 | 代理人： | 丁修亭 |
| 地址： | 250119 山东省济南市天桥区桑梓*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种长运动行程推拉舟机构，其基本结构包括：机体；滑座；竖滑台；俯仰机构；悬臂；第一驱动装置；第二驱动装置；以及第三驱动装置。依据本实用新型的长运动行程推拉舟机构能够适应载荷，从而使例如石英舟的支撑相对水平。 | ||
| 搜索关键词： | 运动 行程 推拉 机构 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
