[实用新型]一种真空蒸镀坩埚防堵料装置有效
| 申请号： | 201921394495.5 | 申请日： | 2019-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN210596241U | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 张艳;马星辰 | 申请（专利权）人： | 固安鼎材科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京东方芊悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11591 | 代理人： | 彭秀丽 |
| 地址： | 065500 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空蒸镀坩埚防堵料装置，其包括用于放置待蒸镀材料的坩埚、设置在坩埚开口处的挡板和具有加热功能的升降柱，升降柱设置在挡板上，当发生堵料情况时，升降柱可随挡板的关闭来到坩埚开口处，并随着升降柱的下降而伸入到坩埚开口内部，用于捅破堵塞在坩埚开口处的蒸镀材料膜，并对附着在坩埚开口内壁周边的蒸镀材料加热使其升华,可以在短时间内及时解决堵料问题，且不会造成材料的浪费；不用时升降柱可以收缩到挡板上，蒸镀时随挡板的打开而离开坩埚口，不影响蒸镀过程。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 坩埚 防堵料 装置 | ||
【主权项】：
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