[实用新型]电感耦合等离子体处理装置

摘要

电感耦合等离子体处理装置包括：至少一个窗口；窗框，支撑至少一个窗口；腔室，收纳窗口和窗框，并以窗框为基准分隔成第一腔室和第二腔室，该第一腔室形成有以真空氛围对基板进行工艺处理的工艺空间，该第二腔室形成有以大气压氛围收纳天线的收纳空间；盖，用于覆盖第二腔室的开放区域，该开放区域用于向收纳空间引入天线或从收纳空间引出天线；多个支架，一侧连接到窗框，另一侧以可结合及可分离方式与盖连接，用于限制窗口和窗框因自重而下垂；多个结合件，从盖的外部贯通盖，能够分别结合于多个支架或从支架解除结合，当通过解除多个结合件的结合而使盖与多个支架分离时，盖从多个支架分离并从第二腔室脱离，以使收纳空间通过开放区域暴露。