[实用新型]一种基于制程腔体的吸盘结构及制程腔

摘要

一种基于制程腔体的吸盘结构及制程腔，基于制程腔体的吸盘结构包括转动机构、吸盘载台、控制器、机台。吸盘载台上沿中心阵列设置有多个吸盘，吸盘载台位于机台上方，转动机构位于吸盘载台下方与机台之间，转动机构与吸盘载台中心连接，转动机构用于带动吸盘载台转动，控制器与转动机构相连。利用机械手臂将晶舟内的多片晶圆依次传送至制程腔中，通过转动机构将空置的吸盘转动至相应的位置接受晶圆，直至所有吸盘中都具有晶圆时方可进行制程，制程结束后，机械手臂再将腔体内的晶圆依次取出，并重新传回晶舟原其所在的位置。在本实用新型中，对晶圆的单片制程进行改进，将大大提升晶圆制程的效率，同时极大程度减少了腔体中能量、气体的损失。