[实用新型]一种真空镀膜机的柱靶安装结构有效
| 申请号： | 201921414784.7 | 申请日： | 2019-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN210683929U | 公开（公告）日： | 2020-06-05 |
| 发明（设计）人： | 武文全 | 申请（专利权）人： | 佛山市佛欣真空技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 谢泳祥 |
| 地址： | 528226 广东省佛山市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空镀膜机的柱靶安装结构，包括炉体，所述炉体包括上顶板、炉底板，所述上顶板上安装有驱动装置，所述驱动装置包括电机、轴套，所述炉体内设有柱靶，所述柱靶与轴套之间包括安装面，所述安装面位于炉体内；所述炉底板上设有安装板，所述安装板与炉底板之间通过支撑柱固定连接，所述安装板上设有底部轴，所述底部轴与安装板铰接，所述柱靶的下端与底部轴固定连接。本实用新型通过在炉底板上增加一个安装板，使得柱靶的下端可以与安装板铰接。工作的时候，由于柱靶的上下两端都得到了支撑，柱靶的旋转的时候更加稳定。同时，安装板与炉底板之间设有支撑柱，使得柱靶可从炉体内从下拆卸出来。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 安装 结构 | ||
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