[实用新型]一种真空镀膜机的导电系统以及真空镀膜机有效

专利信息
申请号: 201921414872.7 申请日: 2019-08-28
公开(公告)号: CN211546653U 公开(公告)日: 2020-09-22
发明(设计)人: 武文全 申请(专利权)人: 佛山市佛欣真空技术有限公司
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50;C23C14/22
代理公司: 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 代理人: 谢泳祥
地址: 528226 广东省佛山市南*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开了一种真空镀膜机的导电系统,包括转架,所述转架包括转盘,所述转盘的边沿设有外齿圈,包括侧导电装置,所述侧导电装置包括固定座、摆臂与导电齿轮,所述摆臂的一端通过弹性构件安装在固定上,所述导电齿轮与外齿圈的重合度大于1。本实用新型通过利用齿轮的啮合进行导电,由于导电齿轮与外齿圈的重合度大于1,所述可以保证导电齿轮与外齿圈能够连续传动,即导电齿轮与外齿圈保持接触,使得转架在转动的时候始终保持通电,从而提高转架上的产品的镀膜质量。同时本实用新型又提供了一种应用了上述导电系统的种真空镀膜机。利用了上述导电系统的真空镀膜机,具有更好的导电稳定性,从而提高产品的加工质量。
搜索关键词: 一种 真空镀膜 导电 系统 以及
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