[实用新型]一种镀膜装置有效
申请号: | 201921416866.5 | 申请日: | 2019-08-29 |
公开(公告)号: | CN211142145U | 公开(公告)日: | 2020-07-31 |
发明(设计)人: | 王海燕 | 申请(专利权)人: | 福建华佳彩有限公司 |
主分类号: | C23C14/30 | 分类号: | C23C14/30 |
代理公司: | 福州市博深专利事务所(普通合伙) 35214 | 代理人: | 张明 |
地址: | 351100 福*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本实用新型涉及真空镀膜技术领域,特别涉及一种镀膜装置,通过在第一坩埚的开口的上方设置正电荷发射装置将第一坩埚内腔的蒸镀物转换成带正电荷的气体进入线性蒸发容器内,通过在第二坩埚的开口的上方设置负电荷发射装置将第二坩埚内腔的蒸镀物转换成带负电荷的气体进入线性蒸发容器内,通过正负电荷之间同性相吸与异性相斥的作用,不同材料进行均匀混合后,混合后的材料于镀膜装置的基板上形成目标膜层,混合材料均匀性的提高,不仅有利于蒸镀后膜层的均匀性,而且提高了发光层的发光效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 镀膜 装置 | ||
【主权项】:
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