[实用新型]一种掩膜版及掩膜版组件有效
| 申请号： | 201921417564.X | 申请日： | 2019-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN210529038U | 公开（公告）日： | 2020-05-15 |
| 发明（设计）人： | 安乐平 | 申请（专利权）人： | 昆山维信诺科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04;C23C14/12 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 康艳艳 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供的一种掩膜版及掩膜版组件，其中掩膜版包括本体，所述本体上设有多列长条孔单元，且至少一列所述长条孔单元包括至少两个长条孔。通过在本体上设有多列长条孔单元，且至少一列长条孔单元包括至少两个长条孔，减少了该列长条孔单元中每一个长条孔的长度，掩膜版不易发生变形，降低了制作掩膜版的难度，并降低在运输和生产过程中由于掩膜版变形而引起的串色和色偏的现象。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜版 组件 | ||
【主权项】：
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