[实用新型]光刻胶供应装置有效
| 申请号： | 201921418292.5 | 申请日： | 2019-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN211207071U | 公开（公告）日： | 2020-08-07 |
| 发明（设计）人： | 杨伟靖 | 申请（专利权）人： | 深圳比亚迪微电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518119 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本公开涉及一种光刻胶供应装置，包括用于存储光刻胶的供应容器(1)，所述供应容器(1)连接有用于将光刻胶导入涂胶槽的供胶管路(3)，所述供应容器(1)还连接有用于通入供压气体的进气管路(2)，以使所述供压气体能够将所述光刻胶压出所述供应容器(1)。通过上述技术方案，通过向供应容器(1)中通入供压气体以将光刻胶压出，取代了利用光阻泵通过抽取的方式导出光刻胶，能够避免当光刻胶粘度较大时，因受限于光阻泵最大抽吸力不足所导致的光刻胶供应不稳定的问题，提高了涂布的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 供应 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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