[实用新型]玻璃基板清洗装置有效

专利信息
申请号: 201921419548.4 申请日: 2019-08-28
公开(公告)号: CN211275818U 公开(公告)日: 2020-08-18
发明(设计)人: 鉴继薰;中塚弘树;山本好晴 申请(专利权)人: 日本电气硝子株式会社
主分类号: B08B11/04 分类号: B08B11/04;B08B3/02;B08B3/08;B08B13/00
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 刘影娜
地址: 日本国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 实用新型提供一种玻璃基板清洗装置,其能够抑制齿轮彼此的磨损而实现齿轮的长寿命化,防止由于磨损粉末的附着而产生玻璃基板的品质缺陷。对玻璃基板(G)的玻璃面进行清洗的玻璃基板清洗装置(1)包括多个清洗构件(2)、分别支承多个清洗构件(2)的多个旋转轴(5)、分别设置在多个旋转轴(5)上的多个齿轮(7)、以及驱动多个旋转轴(5)中的至少一个的旋转驱动机构(马达M),多个齿轮(7)中的相邻的齿轮(7)间相互啮合,所述玻璃基板清洗装置(1)还具有向相邻的齿轮(7)彼此啮合的啮合部(8)赋予液体(L)的液体赋予机构(9)。
搜索关键词: 玻璃 清洗 装置
【主权项】:
暂无信息
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