[实用新型]一种内置于真空腔体的磁钢摆动式端头组件有效
| 申请号： | 201921430561.X | 申请日： | 2019-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN210394510U | 公开（公告）日： | 2020-04-24 |
| 发明（设计）人： | 朱世元;闫乃明 | 申请（专利权）人： | 深圳市金耀玻璃机械有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 重庆百润洪知识产权代理有限公司 50219 | 代理人： | 程宇 |
| 地址： | 518103 广东省深圳市宝*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种内置于真空腔体的磁钢摆动式端头组件，包括装置本体、磁钢、靶管、磁钢芯轴、轴承、盖板、端头、第一传动部件、第二传动部件、靶管旋转传动件和磁钢摆动传动件；磁钢与靶管均转动设置在装置本体内部；装置本体设置在端头的上方；磁钢的底部与磁钢芯轴连接；磁钢芯轴转动安装在端头内部，磁钢芯轴外周设置有轴承；磁钢芯轴下部与第一传动部件传动连接；靶管设置在磁钢的外周，靶管的下部与第二传动部件传动连接；磁钢摆动传动件一端与第一传动部件传动连接，另一端与马达动力连接；靶管旋转传动件的一端与第二传动部件传动连接，另一端连接动力机构。本实用新型中，具有更好的靶材溅射沉积速率，以及更小的安装空间和更加优化的产线布局。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 置于 空腔 磁钢 摆动 端头 组件 | ||
【主权项】：
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