[实用新型]一种相位延迟测量用样品有效
| 申请号： | 201921444292.2 | 申请日： | 2019-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN210719635U | 公开（公告）日： | 2020-06-09 |
| 发明（设计）人： | 刘世杰;王微微;周游;潘靖宇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种相位延迟测量用样品，其结构包括，第一石英晶体薄片和第二石英晶体薄片，在所述的第一石英晶体薄片表面刻蚀有N个台阶，每个台阶的深度均不同，所述的第一石英晶体薄片的下表面和第二石英晶体薄片下表面光胶结合。该标准样品具有量值范围宽、易存储等优点，能够满足不同量程相位延迟的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 相位 延迟 测量 样品 | ||
【主权项】：
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