[实用新型]一种可减少断棱的单晶炉有效
申请号: | 201921452845.9 | 申请日: | 2019-09-03 |
公开(公告)号: | CN210886309U | 公开(公告)日: | 2020-06-30 |
发明(设计)人: | 孟涛;王海庆;姚亮 | 申请(专利权)人: | 包头美科硅能源有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人: | 任立 |
地址: | 010000 内蒙古自治区*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种可减少断棱的单晶炉,涉及单晶炉技术领域,由上往下依次包括上炉筒、副室、炉盖、主炉室和下炉室,所述主炉室内设置有导流筒,所述炉盖上设置有用于将氩气通入主炉室内的氩气管道,所述氩气管道上开设有出气孔且所述出气孔位于导流筒内侧。本实用新型改变了氩气管道的设置位置,将氩气管道设置在主炉室内,不仅避免氩气将副室内的碳颗粒、硅粉等其它杂质带入熔硅中造成断棱,而且避免了氩气在炉内不同构造中形成气旋而影响温度,有利于拉晶,减少了拉晶过程中的异常比例,减少了断线率。 | ||
搜索关键词: | 一种 减少 单晶炉 | ||
【主权项】:
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