[实用新型]一种传送晶圆的陶瓷机械手臂

摘要

一种传送晶圆的陶瓷机械手臂，包括仪器本体和位于仪器本体一侧的抓取机构，抓取机构包括承载部、位于承载部底部的吸附部和位于承载部一侧的安装部，承载部包括承载晶圆的定位槽和防止晶圆上下晃动的定位块，定位槽边缘的一侧开设有滑槽，定位块滑动连接于滑槽，定位块的一侧安装有驱动所述定位块滑动的电子伸缩杆。在运输晶圆的过程中，定位槽对晶圆具有限位的作用，避免了机械手臂运输时速度过快造成晶圆的位置滑动偏移，影响到后续的加工。通过定位槽与定位块的设置，使承载部在运输晶圆的过程中，能更好的给晶圆定位，避免其位置偏移，提高晶圆的合格率。