[实用新型]真空腔室的真空平衡结构有效
| 申请号： | 201921475560.7 | 申请日： | 2019-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN210588923U | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 黄奕宏;刘驰;秦超;尹国伟;刘瑶林;方明登;韩宁宁;曹术;陈锦杰;杨杰;庄庆波;林锋;邓慧建;黄露;徐星明;温业锋;陈浩;林伟龙 | 申请（专利权）人： | 深圳市深科达智能装备股份有限公司 |
| 主分类号： | B25B11/00 | 分类号： | B25B11/00 |
| 代理公司： | 深圳市壹品专利代理事务所(普通合伙) 44356 | 代理人： | 江文鑫;唐敏 |
| 地址： | 518103 广东省深圳市宝安区福永街*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及真空贴合的技术领域，公开了真空腔室的真空平衡结构，包括处于真空腔室内的治具板，治具板内设有内腔室；治具板上具有吸合面，吸合面上设置有静电吸片以及真空吸孔，真空吸孔与内腔室连通；治具板上设有连通孔以及平衡孔，连通孔及平衡孔分别连通内腔室及外部，真空发生器通过连接管与连通孔连接；平衡孔上设置有自动平衡结构，内腔室内的压力大于真空腔室内的压力时，自动平衡结构打开平衡孔，内腔室与真空腔室连通；治具板处于真空腔室，内腔室的压力大于真空腔室的压力时，自动平衡结构打开平衡孔，内腔室与真空腔室连通，使内腔室与真空腔室的压力一致，工件的表面没有压差，治具板通过静电吸片吸附工件，实现对工件的固定。 | ||
| 搜索关键词： | 空腔 真空 平衡 结构 | ||
【主权项】：
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