[实用新型]一种酸性蚀刻液循环再生装置有效

专利信息
申请号: 201921498366.0 申请日: 2019-09-10
公开(公告)号: CN210657139U 公开(公告)日: 2020-06-02
发明(设计)人: 陈仁华;聂国勇;李建立 申请(专利权)人: 长沙利洁环保科技有限公司
主分类号: C23F1/46 分类号: C23F1/46;C23F1/18;B01D53/78;B01D53/68
代理公司: 长沙优企知识产权代理事务所(普通合伙) 43243 代理人: 刘佳芳
地址: 410000 湖南省长沙市*** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 实用新型公开了一种酸性蚀刻液循环再生装置,主要包括电解槽(3)、循环槽(1)和氯气吸收回用塔(4);所述电解槽(3)内设有阳极区(31)和阴极区(32);所述循环槽(1)包括槽体,所述槽体的底部通过隔板分割为阳极循环区(11)、蚀刻循环区(12)和阴极循环区(13);所述电解槽的阳极区(31)分别与循环槽的阳极循环区(11)和蚀刻循环区(12)连通;所述电解槽的阴极区(32)与阴极循环区(13)相互连通。该装置可以将酸性蚀刻液内部循环再生直接利用,节约成本,且氯气零排放,保护环境。
搜索关键词: 一种 酸性 蚀刻 循环 再生 装置
【主权项】:
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