[实用新型]一种用于硅圆晶片加工的电机安装平台

摘要

本实用新型提供了一种用于硅圆晶片加工的电机安装平台，包括支撑机构、滚柱和调节机构，支撑机构包括滚道平台和与滚道平台相连接的支撑柱，滚道平台沿水平方向设置，滚道平台上还预留多个安装轨道，安装轨道还互相平行，滚柱设置于安装轨道内，滚柱为圆柱体形，滚道平台还连接多个支撑柱；支撑柱的一端连接安装平台的底面，支撑柱的另一端还预留安装槽，多个支撑柱还分别通过安装槽连接于调节机构；调节机构包括螺纹槽和与螺纹槽相匹配的地脚螺栓，螺纹槽固定于安装槽的内部，地脚螺栓还通过地脚螺栓的螺纹端连接于螺纹槽。本实用新型提高了硅圆晶片加工过程中电极安装的安全性和便捷性。