[实用新型]一种单晶炉炉压调节装置

摘要

一种单晶炉炉压调节装置，包括不锈钢环架、电控部分，还包括阀板和环形胶木阀套；阀板的边缘呈减少接触面积的锯齿结构，锯齿结构的外围相配合设置环形胶木阀套，环形胶木阀套嵌于所述不锈钢环架和阀板之间，且环形胶木阀套不做运转，电控部分设置在不锈钢环架的一侧且分别与不锈钢环架、阀板电连接，所述电控部分带动阀板做正反转动。本实用新型一方面降低了运行过程中挥发物沉积、减少负载运行过重对电路的损坏的风险；另一方面，阀板比起原来结构减小，紧贴周围有环形胶木阀套防护，机械运行的力度大大降低，阀板与环形胶木阀套的密封性能完好结合，设备压力控制稳定可靠。