[实用新型]化学气相沉积装置及其电极有效
| 申请号： | 201921508070.2 | 申请日： | 2019-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN210916245U | 公开（公告）日： | 2020-07-03 |
| 发明（设计）人： | 李军旗;袁晓波;陈惠;陈涛;陈万;潘飞 | 申请（专利权）人： | 深圳精匠云创科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/27 | 分类号： | C23C16/27;C23C16/44 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 叶乙梅 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市龙华区龙华街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提出一种化学气相沉积装置及其电极，化学气相沉积装置包括加热机构，所述加热机构包括电极及热丝，所述电极包括本体及限位件，所述热丝穿设于所述本体，所述限位件穿设于所述本体并抵持所述热丝。所述电极能够防止热丝断裂。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 沉积 装置 及其 电极 | ||
【主权项】：
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
