[实用新型]一种点源坩埚的筛网装置及点源坩埚有效
| 申请号： | 201921526708.5 | 申请日： | 2019-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN210657114U | 公开（公告）日： | 2020-06-02 |
| 发明（设计）人： | 张孟涛;张竹平;黎晓毅;张醒波;张润刚 | 申请（专利权）人： | 深圳隽辉自动化设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/12 |
| 代理公司： | 深圳市金信启明知识产权代理有限公司 44484 | 代理人： | 周斌 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市福田区华强北*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种点源坩埚的筛网装置及点源坩埚，包括弹性卡箍、筛网本体及筛网盖体；弹性卡箍支撑所述筛网本体，筛网盖体设于筛网本体上部并与筛网本体锁紧连接；所述筛网本体内设置有连通筛网本体上下两端的第一筛网层，所述筛网盖体内设置有连通筛网盖体上下两端的第二筛网层，且第一筛网层与第二筛网层之间形成一材料填充腔隙。本实用新型使得点源坩埚的筛网装置具有通用性，能适应不同内径尺寸的点源坩埚而避免浪费，同时能防止SiC颗粒飞溅。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 坩埚 筛网 装置 | ||
【主权项】：
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