[实用新型]一种自动化在线拍舟装置

摘要

本实用新型公开了一种自动化在线拍舟装置，其用于拍打舟片传输机构传输的硅片，该自动化在线拍舟装置包括支架、驱动件和拍舟件，支架设在舟片传输机构上方，驱动件与支架相连，驱动件被配置为驱动支架朝向舟片传输机构运动，拍舟件可转动的连接在支架上，拍舟件的表面为弹性面，拍舟件被配置为拍打硅片。本实用新型的自动化在线拍舟装置，由于支架和拍舟件可在驱动件的作用下朝向舟片传输机构运动以拍打石墨舟内的硅片，使得硅片能够完全进入石墨舟的卡点内，从而保证了后续工艺的正常进行，较好地避免了后续工艺中硅片出现碎片的现象。