[实用新型]夹紧定位装置以及石墨舟自动装卸设备有效
申请号: | 201921540379.X | 申请日: | 2019-09-17 |
公开(公告)号: | CN210945779U | 公开(公告)日: | 2020-07-07 |
发明(设计)人: | 邓金生;周宏业;黎佐兴;李时俊 | 申请(专利权)人: | 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 |
主分类号: | C23C16/50 | 分类号: | C23C16/50;C23C16/458;C23C16/34 |
代理公司: | 深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247 | 代理人: | 陈贤荣 |
地址: | 518000 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种夹紧定位装置以及石墨舟自动装卸设备,夹紧定位装置包括左右夹紧定位机构和前后夹紧定位机构,通过左右夹紧定位机构分别对第一物体和第二物体的左右两端进行夹紧定位,从而在第一方向上保证第一物体和第二物体的定位精度;通过前后夹紧定位机构分别对第一物体和第二物体的前后两端进行夹紧定位,从而在第二方向上保证第一物体和第二物体的定位精度。由于夹紧定位装置一次可以同时夹紧定位两个物体,因此,提高了石墨舟自动装卸设备的生产效率,从而能够满足产能日益增长的PECVD真空镀膜设备。 | ||
搜索关键词: | 夹紧 定位 装置 以及 石墨 自动 装卸 设备 | ||
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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