[实用新型]半导体设备制程厂房的微震监测装置有效
| 申请号： | 201921550912.0 | 申请日： | 2019-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN210894723U | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 钱焱杰;吕瑾;沈静蔚 | 申请（专利权）人： | 上海振南工程咨询监理有限责任公司 |
| 主分类号： | G01V1/00 | 分类号： | G01V1/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201700 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种半导体设备制程厂房的微震监测装置，涉及地震监测设备的技术领域，解决了传感器埋入地下时，由于土地内的氧化物质会对传感器的表面进行氧化磨损的问题，其包括传感器和数据处理显示器，传感器与数据处理器之间设置有电线，传感器的外壁套设有保护管，保护管的侧壁设置有用于卡紧传感器的抵紧件，保护管的上端卡接有管盖，管盖包括盖板一和盖板二，盖板一与盖板二于侧壁的一端铰接，管盖与垂直管盖拆分线的侧壁上固定连接有合页一，保护管的上端于合页一的对称位置处固定连接有合页二，合页一与合页二之间设置有紧固件。本实用新型具有减少传感器在地下产生氧化损坏的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体设备 厂房 监测 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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