[实用新型]一种花篮安装机构及不良硅片收集装置有效

专利信息
申请号: 201921555223.9 申请日: 2019-09-18
公开(公告)号: CN210640195U 公开(公告)日: 2020-05-29
发明(设计)人: 张学强;戴军;张建伟;罗银兵;李圣鹤 申请(专利权)人: 罗博特科智能科技股份有限公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673;H01L21/687;H01L21/677
代理公司: 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 代理人: 查杰
地址: 215000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 本申请的一种花篮安装机构及不良硅片收集装置,所述的花篮安装机构包括顶板、底板、后侧板,花篮安装在所述的顶板与底板之间,所述的顶板上安装有一上定位气缸、在所述的上定位气缸的驱动下能够上下移动的上定位头,所述的底板上安装有花篮夹持机构。本申请的一种花篮安装机构及不良硅片收集装置,将花篮装入花篮安装机构上,花篮的底部支撑于花篮放置座上,上定位气缸控制上定位头插入花篮的顶部,实现花篮的上部定位。夹持气缸控制所述的夹持移动块沿垂直于固定轴的方向水平移动,在夹持移动块的带动下,所述的夹持块绕固定轴转动,使花篮的底部卡入所述的夹持块的夹持部。该花篮安装机构夹持稳定,取放方便。
搜索关键词: 一种 花篮 安装 机构 不良 硅片 收集 装置
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