[实用新型]一种离子注入机映像装置有效
| 申请号： | 201921555563.1 | 申请日： | 2019-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN211350566U | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | 金明;何伟;黄帅曦;黄鹏 | 申请（专利权）人： | 和舰芯片制造（苏州）股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 杨帆 |
| 地址： | 215025 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种离子注入机映像装置，其特征在于，包括发射装置和接收装置，所述发射装置与所述接收装置设置在待映像物体的两侧，所述发射装置为激光发射器。本实用新型提供的技术方案，使用激光发射器，更简单高效地映像出晶圆数量，节省人力物力的同时，提高工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子 注入 映像 装置 | ||
【主权项】：
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