[实用新型]一种真空镀膜机的单板气动阀门装置有效
| 申请号： | 201921555807.6 | 申请日： | 2019-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN211256079U | 公开（公告）日： | 2020-08-14 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 北京实力源表面技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101102 北京市通*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及真空镀膜机领域，尤其涉及一种真空镀膜机的单板气动阀门装置，其特征在于，包括真空腔体、阀门铰链装置、气缸装置；所述真空腔室与阀门铰链装置通过螺钉相固定连接；所述气缸装置包括气缸、气缸固定板、第一气管接头、第二气管接头、气缸连接杆、气缸支撑杆；所述真空腔室与气缸装置通过气缸固定板利用螺钉相固定连接；所述阀门铰链装置与气缸装置通过气缸连接杆利用螺母锁紧固定连接。该阀门装置，加工方便，结构简单，降低阀门加工成本，同时增强阀门运行工作时的稳定性，延长整个阀门的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 单板 气动 阀门 装置 | ||
【主权项】：
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