[实用新型]一种腔体隔绝环有效
| 申请号： | 201921560509.6 | 申请日： | 2019-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN210596245U | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;边逸军;汪涛 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种腔体隔绝环，所述的腔体隔绝环包括环状主体和位于其底部的环状底座，所述的环状底座为环形凹槽结构，所述的环状主体与环状底座的外周面相接，所述的环状底座的外周壁上开设至少一个通孔。本实用新型提供的腔体隔绝环可以极大地改善PVD镀膜机的镀膜均匀性，通过将晶圆安装在本实用新型提供的腔体隔绝环内部，通过环状底座均匀分布的致密通孔，确保了腔体隔绝环内部的气流稳定，实现晶圆表面均匀镀膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 隔绝 | ||
【主权项】：
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