[实用新型]一种光刻机的晶圆平边预定位装置有效
| 申请号： | 201921579913.8 | 申请日： | 2019-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN210428090U | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 唐阳明 | 申请（专利权）人： | 上海图双精密装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 上海汇齐专利代理事务所(普通合伙) 31364 | 代理人： | 朱明福 |
| 地址： | 200000 上海市青浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种光刻机的晶圆平边预定位装置，包括用于承载晶圆的工作平台,所述工作平台上设有第一固定定位轮、至少两个的第二固定定位轮、所述第二固定定位轮用于定位晶圆的平边，所述第一固定定位轮用于定位晶圆的弧形边；所述工作平台底部设有驱动机构、摆杆机构，所述摆杆机构上连接有定位轮动作轮，所述驱动机构用于驱动摆杆机构摆动使定位轮动作轮与定位后晶圆的弧形边接触或分离。本实用新型能够对具有平边的晶圆预定位，且由于本实用新型设有光纤传感器使得定位更为准确。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 晶圆平边 预定 装置 | ||
【主权项】：
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