[实用新型]一种链式刻蚀机的下料装置及链式刻蚀机有效
| 申请号： | 201921581160.4 | 申请日： | 2019-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN210763154U | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | 曹俊楠;张建峰;王森;洪亚军;朱文荣;曹祥 | 申请（专利权）人： | 盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06;B65G47/52 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 224431 江苏省盐*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种链式刻蚀机的下料装置及链式刻蚀机，该下料装置包括第一运输机构、第二运输机构及缓存盒，第一运输机构被配置为沿第一方向输送硅片；第二运输机构，第二运输机构设在第一运输机构的一端，第二运输机构被配置为接收来自第一运输机构的硅片并且将硅片沿第二方向输送，第一方向和第二方向具有夹角，缓存盒上设有沿第一方向延伸设置的缓存槽，缓存槽为多个，且多个缓存槽竖直方向间隔分布，缓存盒配置为可相对第一运输机构沿竖直方向运动，以使第一运输机构运输的硅片插入多个缓存槽内。该下料装置能够给予工作人员较长时间进行异常处理，从而降低堵片导致返工片和碎片的几率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 链式 刻蚀 装置 | ||
【主权项】：
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