[实用新型]紫外光固化装置有效
| 申请号： | 201921603197.2 | 申请日： | 2019-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN211134521U | 公开（公告）日： | 2020-07-31 |
| 发明（设计）人： | 贡禕琪 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | B05D3/06 | 分类号： | B05D3/06 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 曹廷廷 |
| 地址： | 201315*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种紫外光固化装置，所述紫外光固化装置包括发光单元、光强检测单元以及与所述发光单元和所述光强检测单元分别连接的功率调节单元；所述发光单元提供UV光线，所述光强检测单元能够检测到所述UV光线的光强，所述功率调节单元根据所述光强检测单元检测到的所述UV光线的光强调节所述发光单元的功率，由此，调节所述UV光线的光强。能够对所述光强进行实时检测，及时的调整工艺参数，提高加工工艺的精度，以及能够避免人员对设备定期检查的危害。 | ||
| 搜索关键词： | 紫外 光固化 装置 | ||
【主权项】：
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