[实用新型]一种具有可调节式真空吸盘的晶圆切割机有效
| 申请号： | 201921603990.2 | 申请日： | 2019-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN211662380U | 公开（公告）日： | 2020-10-13 |
| 发明（设计）人： | 路崧;王瑾;曹锋;李剑锋;周成全;刘正锋;高云峰 | 申请（专利权）人： | 大族激光科技产业集团股份有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00;B28D7/04 |
| 代理公司： | 深圳众鼎专利商标代理事务所(普通合伙) 44325 | 代理人： | 黄章辉 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种具有可调节式真空吸盘的晶圆切割机，包括吸盘固定座、驱动电机和陶瓷吸盘，吸盘固定座用于连接抽气设备，所述驱动电机的输出轴连接于所述吸盘固定座，所述驱动电机用于驱动所述吸盘固定座旋转，所述吸盘固定座上设有凹槽，所述陶瓷吸盘设置在所述凹槽内，还包括至少三个调节件，所述调节件位于所述陶瓷吸盘和所述吸盘固定座之间，所述调节件位于所述凹槽内，所述调节件用于调节所述陶瓷吸盘的平面度，达到调整陶瓷吸盘的平面度的作用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 调节 真空 吸盘 切割机 | ||
【主权项】：
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