[实用新型]一种高纯度四氟化硅分离提纯设备

摘要

本实用新型公开了涉及四氟化硅分离提纯设备技术领域，具体为一种高纯度四氟化硅分离提纯设备，包括干燥除尘设备，干燥除尘设备呈L字形的管道结构，干燥除尘设备的左下端设置有贯穿内外的漏孔，漏孔的下端匹配安装有集尘盒，集尘盒的右端上表面一体设置有下方支撑滤板，下方支撑滤板的左侧面活动贴合有下方棉垫。本实用新型中设置有双重过滤杂质的棉垫，过滤杂质和去除湿气的效果较好，可提高四氟化硅的分离提纯纯度；本实用新型中集尘盒结构设计合理，集尘盒跟过滤除湿组件一体设置，方便拆装和清理，实用性强；本实用新型中集尘盒可快速进行拆装，方便使用，集尘盒可收集杂质和水，起到了提高四氟化硅的分离提纯纯度的作用。