[实用新型]一种半导体机台晶圆片传动装置

摘要

本实用新型公布了一种半导体机台晶圆片传动装置，包括底座、电机和皮带轮，所述底座的左侧内部固定安装有电机，且电机的输出端固定安装有皮带轮，所述皮带轮的外壁套接有传送皮带，所述皮带轮的右端固定安装有连接杆，所述底座的顶端两侧皆固定安装有支撑杆，且支撑杆的内部开设有通槽，所述通槽的内部插设有插杆，所述插杆的左端固定安装有转块。本实用新型设置有定位板和海绵垫，定位板和对晶圆片进行定位作用，使晶圆片传动的精度更加高，插杆可以对定位板进行调节，方便不同大小的晶圆片进行定位传动，连接杆可以将电机产生的热量集中在传送皮带的内部，使热量传递到传送皮带的表面，使晶圆片不会受冷发生破碎的情况。