[实用新型]一种硅片切割机的浆液循环系统用中转缸有效
| 申请号： | 201921638117.7 | 申请日： | 2019-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN211221490U | 公开（公告）日： | 2020-08-11 |
| 发明（设计）人： | 杨帆;樊欢欢;王海洋 | 申请（专利权）人： | 晶海洋半导体材料(东海)有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B28D7/00;B01D29/01;B01D29/58 |
| 代理公司： | 广州知友专利商标代理有限公司 44104 | 代理人： | 李海波;赖智威 |
| 地址： | 222300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅片切割机的浆液循环系统用中转缸，其包括缸体，在缸体的一侧壁设有溢水孔和排水孔，溢水孔和排水孔分别位于缸体的上部和下部，溢水孔和排水孔分别与设置在缸体外边的汇流管道连接，在连接汇流管道与排水孔的水管上设有用于控制排水的开关阀，在缸体的上面设有进水口，缸体的内底面向排水孔所在侧倾斜，在进水口处设有过滤装置，通过过滤装置对流经的浆液进行预先过滤。本实用新型能降低了切割的不良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 切割机 浆液 循环系统 中转 | ||
【主权项】：
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