[实用新型]一种管式PECVD炉管防尘结构

摘要

本实用新型公开了一种管式PECVD炉管防尘结构。它包括炉管本体内平行设置的一对沿炉管本体轴向方向布置的支撑板，两块支撑板固定设置在炉管本体中上部的两侧内壁上且两块支撑板沿炉管本体中心垂线对称布置，炉管本体内还能够铺设位于两块支撑板的上方的防护板，两块支撑板之间设置有间距并能够使炉管本体内的浆料通过该间距直接与防护板接触，炉管本体内放置有位于防护板下方的石墨舟。其优点是：避免了在非晶硅沉积过程中产生的粉尘、反应沉积物掉落在硅片表面，从而保证了硅片表面的洁净度，解决了正常作业过程中的粉尘及反应沉积物堆积在舟中硅片表面的问题，从而减少了炉管的清理周期，还大大提高了制程过程良率和最终成品电池片的转换效率。