[实用新型]一种硅片反应炉的一体式炉门有效

专利信息
申请号: 201921647779.0 申请日: 2019-09-30
公开(公告)号: CN210952360U 公开(公告)日: 2020-07-07
发明(设计)人: 李伟;戴磊;王波波;吴斌华;夏康;蓝希旺 申请(专利权)人: 中赣新能源股份有限公司
主分类号: F27D1/18 分类号: F27D1/18;C01B33/021
代理公司: 温州名创知识产权代理有限公司 33258 代理人: 程嘉炜
地址: 335000 江*** 国省代码: 江西;36
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摘要: 实用新型涉及硅片反应设备技术领域,且公开了一种硅片反应炉的一体式炉门,包括反应炉,所述反应炉正面的右侧固定连接有限位杆,所述限位杆的上下两端分别螺纹套接有固定螺栓,且上下两端的固定螺栓上分别卡接有合页,所述限位杆左侧的中部固定连接有固定框,所述合页的数量有两个,两个所述合页的两侧分别卡接在固定框的右侧和限位杆的左侧,所述固定框的中部焊接有门板。该硅片反应炉的一体式炉门,通过将固定框与门板焊接为一体的设计,同时配合金属门板的共同使用,替代了传统炉门中部为玻璃门的设置,在保证了炉门密闭性良好的情况下,还可以避免玻璃门在高温下破裂伤人的情况,体现了装置的安全性。
搜索关键词: 一种 硅片 反应炉 体式 炉门
【主权项】:
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