[实用新型]铬蚀刻液生产设备有效

专利信息
申请号: 201921649743.6 申请日: 2019-09-30
公开(公告)号: CN211036110U 公开(公告)日: 2020-07-17
发明(设计)人: 童晨 申请(专利权)人: 昆山晶科微电子材料有限公司
主分类号: C23F1/08 分类号: C23F1/08;B01F3/22
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 实用新型公开了铬蚀刻液生产设备,包括混合罐、过滤器和恒温水循环机,混合罐通过管道将铬蚀刻液输送至过滤器中,管道外部包覆有保温装置;保温装置主要由两块保温套、分水器一和分水器二构成,两块保温套之间活动连接,分水器一的总接头与恒温水循环机的出水口连接,分水器二的总接头与恒温水循环机的进水口连接,保温套中嵌入有连续弯曲的软管,软管的一端与分水器一的分水口连接,另一端与分水器二的分水口连接。本实用新型通过恒温水循环机向保温套中持续注入循环的温水给管道保温,如此便可防止铬蚀刻液在管道中冷却而造成结晶析出,保证了铬蚀刻液产品的质量稳定性。
搜索关键词: 蚀刻 生产 设备
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于昆山晶科微电子材料有限公司,未经昆山晶科微电子材料有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201921649743.6/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top