[实用新型]一种具有氮化镁壳层的氧化镍/锌镍氧/氧化锌器件

摘要

本实用新型属于半导体器件技术领域，提供一种具有氮化镁壳层的氧化镍/锌镍氧/氧化锌器件，包括氧化锌薄层、氧化镍薄层、锌镍氧超薄层和氮化镁层。该器件充分发挥氧化锌材料在辐射探测方面的耐高温耐辐照的特性，通过引入具有空穴导电特性的氧化镍层，克服氧化锌难以获得稳定空穴导电特性的严重劣势，进而形成基于PN结构的结型辐射探测器件。该器件中增加了锌镍氧超薄层，利用该层所产生的极化诱导作用，减少器件界面对载流子的俘获，提高器件电学性能；同时将氧化锌单晶设计成梯形截面的圆台，在器件周围增加氮化镁壳层，利用其高阻特性及在ZnO单晶侧面形成的反型层，有效解决器件漏电问题，进而降低器件的漏电流噪声，显著提升器件性能。