[实用新型]一种超大尺寸单晶硅片的清洗系统有效

专利信息
申请号: 201921657478.6 申请日: 2019-09-30
公开(公告)号: CN211914783U 公开(公告)日: 2020-11-13
发明(设计)人: 王冬雪;孙小杰;王大伟;黄磊;郭成钢 申请(专利权)人: 内蒙古中环光伏材料有限公司
主分类号: B08B3/08 分类号: B08B3/08;B08B3/12;B08B11/00;B08B13/00
代理公司: 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 代理人: 栾志超
地址: 010070 内蒙古自*** 国省代码: 内蒙古;15
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摘要: 实用新型提供一种超大尺寸单晶硅片的清洗系统,包括预清洗部和慢提拉部,还包括第一药液清洗部、第一溢流清洗部、第二药液清洗部、第三药液清洗部和第二溢流清洗部,预清洗部、第一药液清洗部、第一溢流清洗部、第二药液清洗部、第三药液清洗部、第二溢流清洗部与慢提拉部依次设置,并通过移动抓取装置连通,对硅片依次进行清洗;慢提拉部以一定倾斜角度倾斜设置,以使得硅片表面水分拉干;第一药液清洗部中的药液为清洗剂溶液;第二药液清洗部中的药液为高浓度清洗药液溶液;第三药液清洗部中的药液为低浓度清洗药液溶液。本实用新型的有益效果是对硅片进行三次药液清洗,硅片表面洁净度高,提高硅片表面洁净度,提升后续电池片的转化效率。
搜索关键词: 一种 超大 尺寸 单晶硅 清洗 系统
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