[实用新型]一种石英晶片的圆边清洗装置有效
| 申请号： | 201921707654.2 | 申请日： | 2019-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN210816624U | 公开（公告）日： | 2020-06-23 |
| 发明（设计）人： | 夏良军 | 申请（专利权）人： | 菲特晶（南京）电子有限公司 |
| 主分类号： | B08B11/00 | 分类号： | B08B11/00;B08B11/02;B08B3/10;B08B13/00 |
| 代理公司： | 南京常青藤知识产权代理有限公司 32286 | 代理人： | 金迪 |
| 地址： | 210000 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种石英晶片的圆边清洗装置，涉及石英晶片生产加工设备领域，包括两个对称设置的清洁机构和清洁缸，清洁机构包括第一气缸以及设于第一气缸上方的支撑台，第一气缸的第一活塞杆连接支撑台的下表面，支撑台的上表面设有第二气缸，第二气缸的第二活塞杆通过连接件连接电机的一端，电机的另一端设有转轴，电机驱动转轴顺指针方向进行自转，转轴的一端连接夹板的一端，夹板的另一端通过连接板连接海绵板，两个清洁机构的两个海绵板之间夹持有石英晶片，清洗缸设于石英晶片的下方，清洗缸可容纳石英晶片的转动。本实用新型结构稳定，清洗部位精确，使用方便，通用性强。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英 晶片 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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