[实用新型]一种碳化硅电子元器件酸洗回收装置有效
| 申请号： | 201921715690.3 | 申请日： | 2019-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN210933961U | 公开（公告）日： | 2020-07-07 |
| 发明（设计）人： | 赵俊男;王丽丽 | 申请（专利权）人： | 济南鲁晶半导体有限公司 |
| 主分类号： | B01D29/01 | 分类号： | B01D29/01;B01D29/52;B01D29/92 |
| 代理公司： | 济南泉城专利商标事务所 37218 | 代理人： | 赵玉凤 |
| 地址： | 250101 山东省济南市市辖区*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种碳化硅电子元器件酸洗回收装置，包括封闭的酸洗空间、与酸洗空间通过输送管道相连通的储酸罐、通过回收管道与酸洗空间相连通的回收箱以及穿过酸洗空间的传送轨道，传送轨道上设有用于放置电子元器件的载舟并且传送轨道连接有驱动载舟在传送轨道上运动的驱动装置，酸洗空间内设有喷淋头和滤网，喷淋头与输送管道相连通，滤网位于传送轨道的下方，回收箱通过回收循环管道连通至储酸罐。本实用新型在酸洗去除碳化硅电子元器件金属表面的氧化物薄膜的同时重复循环利用酸液。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 电子元器件 酸洗 回收 装置 | ||
【主权项】：
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