[实用新型]一种磁控溅射真空镀膜机工艺气体布气装置

摘要

本实用新型公开了一种磁控溅射真空镀膜机工艺气体布气装置，包括真空室体、阴极布气装置和真空室内环境布气装置，所述阴极布气装置包括护罩住阴极体及靶材的阴极外罩，阴极外罩和阴极体绝缘，阴极外罩通过供气管道与工艺气体馈入接口连接，在阴极外罩内部设有通气孔，通气孔把引入的工艺气体分成两路或多路汇合在阴极外罩一端的布气环内，在布气环朝向靶面的一侧均匀分布有多个喷气孔，所述真空室内环境布气装置包括沿真空室体内壁周边均布的多个布气管，在布气管上分布有布气孔，每个布气管单独通过供气管道与工艺气体馈入接口连接。本实用新型的布气装置保证了移动阴极在动态工作时工艺气体供给的稳定性、均匀性。