[实用新型]PVD真空离子镀膜机的自动上料装置有效

专利信息
申请号: 201921776146.X 申请日: 2019-10-22
公开(公告)号: CN210657115U 公开(公告)日: 2020-06-02
发明(设计)人: 王骏;费永强;徐侨 申请(专利权)人: 浙江宝鸿新材料股份有限公司
主分类号: C23C14/32 分类号: C23C14/32
代理公司: 北京市隆安律师事务所 11323 代理人: 权鲜枝
地址: 313000 浙江省湖州市南太湖高新*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 本申请实施例公开了PVD真空离子镀膜机的自动上料装置,包括工件装载单元、装载机械臂,工件装载单元包括能够旋转的主安装轴、通过主安装轴安装的两个或多个固定框架,固定框架用于固定放置工件,且其上部具有使工件通过的上通入槽;装载机械臂包括机械臂支架、安装于机械臂支架上的旋转立柱、通过旋转立柱安装的升降单元、第一端能够转动地安装于升降单元上的连接臂、能够旋转地安装于连接臂第二端的竖直安装轴、通过竖直安装轴固定安装的装载框架、通过竖直安装轴固定安装的操作手柄、及控制系统,装载框架用于通过上通入槽向固定框架上料。本申请技术方案至少具有劳动强度低、上料工作效率相对较高、工作能耗相对较低的优点。
搜索关键词: pvd 真空 离子 镀膜 自动 装置
【主权项】:
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