[实用新型]一种中空CVD探针结构有效
| 申请号： | 201921788173.9 | 申请日： | 2019-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN211826134U | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 赵芬霞;蒋荣方;刘宏明;王骏 | 申请（专利权）人： | 湖州中芯半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01Q60/38 | 分类号： | G01Q60/38 |
| 代理公司： | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人： | 刘晓明 |
| 地址： | 313000 浙江省湖州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种中空CVD探针结构，包括探测针、微悬臂、微悬臂吸附件、微悬臂吸附夹持件和探针固定座，所述微悬臂吸附件设于探针固定座上，所述微悬臂设于微悬臂吸附件上，所述微悬臂吸附夹持件可滑动卡合与微悬臂和微悬臂吸附件外侧，所述探测针设于微悬臂上，所述微悬臂吸附件包括固定板和真空吸盘，所述真空吸盘设于固定板上，对微悬臂进行吸附固定，所述微悬臂吸附夹持件为底面缺口的矩形中空腔体，所述探针固定座设有台阶孔，所述台阶孔包括圆柱孔一和圆柱孔二，所述圆柱孔一与圆柱孔二为十字交叉设置。本实用新型属于磁共振技术领域，具体是指一种结构简单、不易脱针且拆卸方便的中空CVD探针结构。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 中空 cvd 探针 结构 | ||
【主权项】：
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